强激光与粒子束

作者：杜雨泓, 李源媛, 张曜, 何涛, 王林, 苟徳梽, 洪涛, 唐正明,

关键词：等离子体, 微波, 矩形波导, 反应器, 相位,

微波等离子体因其高电子密度和功率利用效率等优势，在材料合成和化工催化等领域都展现出显著优势。为解决传统反应器反应区小，限制其大规模应用的问题，基于压缩波导原理创新性地提出了一种三棱柱式微波等离子体反应器结构。设计采用三端口对称构型，并在腔体内部引入压缩波导结构，以实现电场的有效叠加和增强；运用多物理场耦合计算方法，系统分析了端口位置和微波相位对腔体内部反射系数和电场分布特性的影响规律。结果显示，优化端口位置可以降低反射系数，提高能量利用利效率；调控端口相位能有效增强电场的叠加效应，使电场集中且广泛分布在石英管区域，峰值场强高达1.64×105 V/m，满足大面积等离子体的激发条件，为后续微波等离子体化学反应的研究提供参考。

来源：2025年第8期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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