强激光与粒子束

作者：周文超, 邓婷, 彭琛, 曹玉龙, 魏蔚, 刘斯靓, 王静,

关键词：取样光学元件, 大口径, 光腔衰荡, 高反膜, 增透膜, 缺陷状态,

针对前表面高反、后表面增透的取样光学元件的性能测试需求，基于光腔衰荡大口径光学元件反射率均匀性测试实验装置，分别从反射膜面入射和增透膜面入射，扫描测量得到该取样光学元件的反射率分布及光学损耗、缺陷高分辨扫描成像；并进一步通过对比分析缺陷分布图，实现取样光学元件反射膜、透射膜以及基片缺陷分类；另外通过建立双通道光腔衰荡实验装置，获取增透膜的剩余反射率分布以及透射膜缺陷类型；实现了大口径取样光学元件光谱和缺陷特性的准确测量。

来源：2025年第7期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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