强激光与粒子束

作者：李景鹏, 王珏, 张雪凤, 李毅, 岱钦, 崔建丰, 王磊, 乌日娜,

关键词：衍射光栅, 衍射效率, 严格耦合理论, 皮秒加工,

研究了栅高对SU-8微米光栅衍射效率的影响。使用严格耦合波理论模拟分析了栅高分别为6～8 μm、12～16 μm、6～30 μm时的衍射效率，以及6～30 μm连续变化的0级和1级衍射效率。模拟结果显示，栅高6 μm时，0级衍射效率最低，1级衍射效率最高；在12 μm时，0级衍射效率最高，1级衍射效率最低。栅高6～30 μm连续变化时，衍射效率随之周期性变化。制备不同厚度的SU-8薄膜，采用皮秒激光刻蚀技术，制备了不同栅高的40 μm周期光栅。测量结果显示，周期40 μm光栅的栅高6.83 μm时，−1级衍射效率为28.4%，0级衍射效率约为14.7%；栅高13.45 μm时，0级衍射效率为31.46%，1级衍射效率12.35%。0级和1级衍射效率的大小随着栅高周期变化。理论模拟和实验探索，为SU-8微米光栅的制备和一级衍射效率的提高提供重要的参考。

来源：2025年第6期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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