强激光与粒子束

作者：许世萍, 崔江维, 郑齐文, 刘刚, 邢康伟, 李小龙, 施炜雷, 王信, 李豫东, 郭旗,

关键词：BCD工艺, 栅极驱动器, 总剂量效应, 环栅加固器件,

针对一款BCD工艺栅极驱动器，采用环栅结构进行总剂量效应加固。通过60Co γ辐照试验，对比了加固和非加固器件电学参数随剂量变化情况。结果表明，总剂量辐射会导致器件的输出电压与电流特性发生退化，出现转换电压下降与输出电流上升的现象，同时发现总剂量辐射对输出电阻几乎无影响。对比两种栅极驱动器辐照前后的测试结果，证明环栅加固方法对抑制总剂量辐射引起的边缘漏电有一定的效果，但辐照总剂量达到500 krad(Si)时，加固器件发生功能失效。通过仿真模拟各级晶体管辐射损伤对器件最终输出结果的影响，确定初级施密特反相器内阈值电压漂移影响转换电压，而末级晶体管阈值电压漂移导致输出高电平下降。

来源：2025年第5期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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