强激光与粒子束

作者：杨洁, 陈欣, 李晨, 张晓宁, 何佳龙, 刘平, 秦臻, 赵伟, 黄刚, 向军, 李天涛, 李杰, 董攀, 王韬,

关键词：Al₂O₃陶瓷, Cr₂O₃涂层, 高温烧结, 真空沿面耐压性能,

利用浸涂法将Cr2O3涂覆于Al2O3陶瓷表面，通过高温烧结获得涂层陶瓷，并系统性地研究了Cr2O3涂层对样品的物质成分、微观形貌、二次电子发射系数、表面电阻率和真空沿面耐压性能的影响。结果表明：涂层陶瓷表面呈红黑色，其为Al2O3-Cr2O3固溶体、MgAl2O4和Cr2O3三种物质的混合物。相较于Al2O3陶瓷，涂层表面晶粒和孔洞的尺寸均较小，其晶粒尺寸均匀性也有明显提升。高温烧结后，Al、Cr两种元素相互扩散，并且涂层中有少量从陶瓷基体迁移而来的玻璃相。高温烧结的Cr2O3涂层将Al2O3陶瓷的二次电子发射系数减小至3.22，将表面电阻率减小至4.52×1011 Ω，将真空沿面耐压强度增大至34.44 kV/cm，此值较Al2O3陶瓷提高了约108%。

来源：2025年第4期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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