强激光与粒子束

作者：尹若楠, 薛勃, 张津铭, 吴哲,

关键词：原子力显微镜, 敲击加工, 压电剪切叠堆, 二维高频运动,

针对两轴压电剪切叠堆在高频电压驱动下的二维高频运动的位移测量问题，提出使用（AFM）探针在敲击模式下的加工痕迹测量压电剪切叠堆运动位移的方法，首先制备热塑性聚合物聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）薄膜，随后进行AFM探针敲击加工实验，扫描AMF探针加工轨迹并对其进行后处理，成功得到压电剪切叠堆的二维高频运动位移，实现了以半接触的方式对压电剪切叠堆二维高频复杂运动的准确检测，并依据实验数据对压电剪切叠堆二维运动位移随电压幅值及频率的变化情况进行分析。实验结果表明，在10 Hz～5 kHz的激励信号频率范围内，所提出的方法能准确测量压电剪切叠堆的运动位移。

来源：2024年第8期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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