强激光与粒子束

作者：赵昶栋, 刘永刚, 魏文卿, 张航, 邓琥, 刘泉澄, 胡建波, 尚丽平, 李占锋,

关键词：飞秒激光直写, 空间整形, 纳米光栅, 纵横比,

针对常规物镜聚焦飞秒激光光斑较小，难以单次直写加工成型大面积纳米光栅结构的问题，提出了利用空间狭缝整形的飞秒激光脉冲直写方法。通过开展单晶硅表面纳米光栅结构对加工系统的参数依赖关系研究，获得入射整形飞秒激光能量密度8.00 μJ/cm2、扫描速度9 mm/s、狭缝宽度0.40 mm的优化条件。采用SEM、AFM等手段对光栅进行微观表征，结果表明，单次扫描所制备的纳米光栅结构具有极高的宽度 （41.20 μm），说明提出的方法可以显著提升 一次成型大面积纳米光栅结构的制备效率。

来源：2024年第8期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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