强激光与粒子束

作者：王姗姗, 石峰, 乔硕, 徐博文, 郝群, 宋辞, 铁贵鹏, 田野, 翟德德, 彭星,

关键词：面形测量, 在位检测, 强光元件, 误差分析, 仿真模型,

针对基于强光元件高精度面形在位检测需求，开展了面形测量误差敏感因素仿真分析，进行了系统结构误差和温度误差对测量结果的影响研究，分析各类误差对测量面形误差的具体影响，设计并搭建在位检测系统，开展系统温度变化、系统重复性、系统稳定性等测量实验。研究结果表明：所建立的逆向哈特曼仿真检测模型可用于平面、球面、非球面、自由曲面等各类型被测面，各类影响因素对测量结果的影响主要体现在低频误差上，对高频误差的影响相对较小，搭建的在位检测系统6 h内测量面形误差PV值最大不超过68 nm（约λ/10），RMS值最大不超过15 nm（约λ/40）。

来源：2023年第9期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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