强激光与粒子束

作者：闫路平, 董岚, 王铜, 卢尚, 韩圆颖, 刘晓阳, 张露彦, 闫皓月, 马娜, 何振强, 柯志勇, 门玲鸰, 李波, 王小龙, 梁静, 罗涛,

关键词：振动线, 电容式位移传感器, 标定, 多项式拟合, 精度分析,

在高能同步辐射光源中，为了提高磁铁的准直精度，采用磁中心代替机械中心进行磁铁标定，通过振动线或旋转线等技术获得磁铁的磁中心位置，以及通过电容式位移传感器测量得到丝线的位置，从而实现磁中心与准直靶标的关联。为了实现丝线位置的高精度测量，必须对电容传感器进行精确标定，因此介绍了一种电容式位移传感器，并对其标定方法进行了研究，提出了网格化的数据采集方式以及高阶多项式拟合的数据处理方法，搭建了传感器标定平台并开发了相应的标定控制程序，实现了对传感器的自动控制、数据采集和高精度标定过程。经过分析与对比，标定后的电容传感器达到μm级的位移测量精度，为磁铁的高精度准直提供了基础。

来源：2022年第11期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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