强激光与粒子束

作者：沙慧茹, 肖龙飞, 栾崇彪, 冯琢云, 李阳凡, 孙逊, 胡小波, 徐现刚,

关键词：光导开关, 砷化镓, 损伤, 形貌, 热效应,

制作了同面型砷化镓光导开关，并测试了其导通性能。在偏置电压8 kV、激光能量10 mJ、重复频率10 Hz的条件下，研究了光导开关触发104次后器件表面的损伤形貌。利用激光扫描共聚焦显微镜，对电极边缘及电极间的损伤形貌进行分析，研究发现阳极边缘由于热积累形成热损伤，而阴极边缘的热损伤来源于热应力，并对电极间损伤形貌进行细致表征及分类。

来源：2022年第9期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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