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国内刊号：51-1311/O4
国际刊号：1001-4322
发布日期:
作者：朱邦乐, 范乐, 洪远志, 王思慧, 尉伟, 王一刚, 方键威, 王勇,
关键词：Ti-Zr-V薄膜, 极限真空, 磁控溅射, 非蒸散型吸气剂薄膜, 抽速测量,
利用直流磁控溅射方法在单晶硅片和内径为22 mm、长度分别为500 mm和1500 mm的银铜管道内壁镀制了Ti-Zr-V非蒸散型吸气剂薄膜，并对镀膜管道的极限真空进行了测量。结果显示：在180 ℃下激活24 h后，镀制了Ti-Zr-V薄膜真空管道的极限真空度可以达到9.2×10−10 Pa。在关闭测试系统和离子泵的阀门后，系统仅依靠Ti-Zr-V薄膜的吸气依然能够维持在9×10−9 Pa很长时间。利用测试粒子蒙特卡罗法对薄膜的抽速和容量进行了分析和测量，结果显示，Ti-Zr-V薄膜对CO的初始粘附系数最大可以达到0.3，容量可以达到1.2个分子层。
来源：2022年第6期
《强激光与粒子束》期刊编辑部
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