强激光与粒子束

作者：董祥, 吕海兵, 严鸿维, 黎波, 向霞, 蒋晓东,

关键词：SiO₂增透膜, 等离子体处理, 六甲基二硅胺烷, 抗真空有机污染,

本文采用溶胶-凝胶法制备了SiO2增透膜，然后对其进行等离子体结合六甲基二硅胺烷（HMDS）表面改性处理。研究了后处理改性对增透膜表面形貌、微观结构、光学性能及激光损伤性能的影响规律，获得了抗真空有机污染的二氧化硅增透膜。结果表明，增透膜在采用等离子体结合HMDS表面改性处理后，膜层收缩、粗糙度下降、极性羟基等有机基团含量减少；两步后处理改善了增透膜膜层结构和光学性能，显著提高了膜层疏水能力和真空条件下的抗污染性能，并且对溶胶-凝胶二氧化硅增透膜的高损伤阈值属性不产生影响。

来源：2021年第7期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

查看强激光与粒子束杂志2021年第7期