强激光与粒子束

作者：闫纪源, 梁贵书, 康玉婵, 彭程凯, 万子剑, 吕天舒, 谢庆,

关键词：等离子体, 表面刻蚀, 环氧树脂, 梯度改性, 沿面闪络, 表面电荷,

结合等离子体表面刻蚀方法与梯度改性方法，实现了氧化铝/环氧树脂表面的等离子体梯度刻蚀。利用扫描电子显微镜(SEM)、表面轮廓仪、X射线光电子能谱分析(XPS)、高阻计、闪络电压和表面电位测试系统，对比了未处理、等离子体均匀刻蚀、等离子体梯度刻蚀三种情况的样片表面形貌、化学元素和电气参数，研究了等离子体梯度刻蚀对沿面闪络性能的提升机理。结果表明，等离子体表面刻蚀可提升环氧树脂表面粗糙度、提高样片表面电导率、浅化陷阱能级以及提升沿面闪络电压。等离子体梯度刻蚀对闪络电压的提升效果要优于等离子体均匀刻蚀，相比于未处理样片最大可提升26.5%。分析认为针-针电极的电场分布可划分为三结合点处附近的高场强区和电极之间的低场强区，加快高场强区的表面电荷消散速率并适当控制低场强区表面电荷迁移速率，可以最大程度地提升样片整体的沿面闪络性能。

来源：2021年第6期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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