强激光与粒子束

作者：刘浩, 马平, 蒲云体, 赵祖珍,

关键词：HfO₂薄膜, 激光损伤阈值, 电子束蒸发, 离子束溅射, 原子层沉积,

结合自身实验条件采用电子束蒸发（EBE）、离子束溅射（IBS）和原子层沉积（ALD）三种工艺制备了HfO2薄膜，对其进行退火实验，采用1 064 nm Nd: YAG激光测定了即时沉积和退火后各HfO2薄膜的抗激光损伤能力。研究发现，ALD HfO2薄膜的激光损伤阈值最高，EBE HfO2薄膜次之，IBS HfO2薄膜的损伤阈值最低；300 ℃退火对各工艺薄膜抗激光损伤能力的影响均为负面，500 ℃退火则会显著降低ALD HfO2薄膜的抗激光损伤能力。

来源：2020年第7期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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