强激光与粒子束

作者：韩小磊, 张蓉竹,

关键词：光学加工, 计算机控制表面, 波纹误差, 随机轨迹, 轨迹优化,

提出了一种降低光学元件表面波纹误差的加工方法。从中高频误差的产生过程出发，在常用的光栅型加工轨迹的步进方向上叠加一个随机扰动，通过破坏轨迹的规则性分布，有效抑制了特定频率的中频误差。利用信息熵原理，对生成的随机轨迹进行分析，得出其影响波纹误差抑制能力的关键因素——扰动幅值。在此基础上，对生成的随机扰动型轨迹进行平滑和改进，从而降低其对机床动态性能的要求，通过仿真模拟，验证了优化后的轨迹同样能够有效地降低光学元件表面波纹误差。

来源：2019年第11期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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