国内刊号：51-1311/O4
国际刊号：1001-4322
发布日期:
作者：王馨梅, 郑泽彬, 范樱宝, 赖明玮, 魏锦禹, 吴新宇,
关键词：强激光, 焦点, 紫外辐射, 等离子体, 氮化镓,
精准定位激光束焦点位置是提高激光雕刻、切割、焊接等加工精度的重要基础，而传统测量方法不适用于自动寻找强激光焦点。基于激光烧蚀金属后等离子发光含大量紫外谱线的原理，以日盲的氮化镓肖特基光电二极管为传感器，设计了以304不锈钢靶材为耗材的红外强激光束自动寻焦方法及其装置。该方法与共聚焦显微镜检测平均烧蚀坑深的方法相比，当以脉冲宽度100 ns、重复工作频率20 kHz、平均功率10 W的1064 nm光纤激光雕刻机为实验对象时，二者定焦位置相差24 μm。
来源：2019年第9期
《强激光与粒子束》期刊编辑部