强激光与粒子束

作者：王琼, 沈晨, 谭鑫, 齐向东, 巴音贺希格,

关键词：凸面闪耀光栅, 摆动刻蚀, 衍射效率, 成像光谱仪,

通过摆动离子束刻蚀方法，制作了用于短波红外高光谱成像光谱仪的凸面闪耀光栅。该方法通过在光栅子午方向上进行摆动刻蚀，解决了凸面光栅子午方向的闪耀角一致性问题。建立了摆动刻蚀模型来分析摆动速度、束缝宽度等工艺参数对槽型演化的影响，并计算了优化的刻蚀工艺参数。制备了基底尺寸为67 mm，曲率半径为156.88 mm，刻线密度为45.5 gr/mm，闪耀角为2.2°的凸面闪耀光栅，并对其表面形貌及衍射效率进行了测量。实验结果表明，摆动刻蚀法能够制作出闪耀角一致性好、衍射效率高的小闪耀角凸面光栅，满足成像光谱仪对光谱分辨率和便携性的使用要求。

来源：2019年第6期

《强激光与粒子束》期刊编辑部

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